辽宁汉京半导体产业基地内，高端精密设备正在高效运转。 

11月14日，在沈阳经济技术开发区二十六号路，刚刚投产1个月的辽宁汉京半导体产业基地内，高端精密设备正在高效运转。辽宁汉京半导体材料有限公司副总经理李庆甲向记者介绍：“市场需求迫切，项目建设期间就不断有客户来洽谈。目前，碳化硅产品明年的订单都已经接满了，石英产品订单接到了明年6月。”

新厂新品，为何如此紧俏？事实上，自去年3月开建，产业基地就备受业界的关注与期待。

辽宁汉京半导体是国内首家碳化硅耗材生产商、国内石英制品产业的头部供应商，其自主研发的半导体设备用碳化硅、石英制品在客户端已通过测试认证，在技术上实现了国产突破、填补了国内行业空白。新建的产业基地包含两条高端生产线，即国内首条应用于10纳米以下半导体先进制程的极高纯石英生产线、国内首条半导体碳化硅零部件生产线。

这两条生产线产出的产品，解决的是我国半导体产业链断点、卡点的问题，将极大提升国内高端碳化硅、石英零部件的自主供应能力。以半导体碳化硅零部件为例，目前全球做同类产品的企业只有3家，供货周期通常为2至3年，下游用户常面临采购难甚至采购不到的困境。产业基地投产后，该类产品的供货周期有望缩短至1年以内。

再看石英零部件，高纯石英及其制品贯穿了半导体生产全过程，是确保产品质量与性能稳定的核心要素。李庆甲说：“我们的基地是目前全球规模最大的单体石英加工厂，拥有全球半导体石英精密度最高的生产线，多家芯片龙头企业都会用到我们的产品，能够为提高高端市场供应能力、保障国家产业安全贡献一份力量。”

安全必需、市场急需，省、市、区各相关部门协同发力、靠前服务，保障这一重点项目高质高效建设。占地面积9.6万平方米、规划建筑面积12万平方米的产业基地，开工6个月后就实现了所有厂房主体封顶。辽宁汉京半导体行政副总经理赵阳说：“这为项目当年冬季开展内部施工创造了条件、抢出了时间，今年10月投产，比预期至少提前了两个月。”

“目前生产线都开足了马力加紧生产，两个集控中心也同步投用，不只是车间的生产设备，整个厂区的水、电、气等保障设备都全部联网，实现数字化、智能化控制，生产和运行效率有了很大提升。”李庆甲告诉记者，“产业基地全部达产满产后，可以实现年产值约12亿元。”

来源：辽宁日报

编辑：张靖宇

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